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昆山AG8亚游電子科技有限公司

AG8亚游8年專注等離子清洗機研製低溫等離子體表麵處理係統方案解決商

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熱門關鍵字:應用方案 大氣等離子清洗機 真空等離子清洗機 等離子清洗機廠家

晶圓級封裝等離子PR240L

品牌:AG8亚游
名稱:晶圓級封裝等離子
型號:PR240L
規格:1450mm(W)×1200mm(D)×1720mm(H)
功率: 約4KW
用途:
晶圓級封裝等離子設備主要為3DIC和TSV晶圓級芯片尺寸封裝和測試服務廠家定製,用晶圓製造中的表麵溫清潔、表麵活化、光刻膠去除、植球前清洗等各種工藝。
參考價格:


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產品特點

1、晶圓級封裝等離子處理設備水冷電極結構設計,有效控製真空室內的工作溫度;

2、可有效去除表麵Particle;

3、處理均勻性好;

4、有效提升矽片與膠層的結合力;

5、根據晶圓製造的工藝不同,設計專用托架,提升設備性能、避免不良影響。
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產品參數

機台配置 規格描述 產地 備注
機台整機規格 1450mm(W)×1200mm(D)×1720mm(H) AG8亚游
1、工作真空度:20-100Pa
2、真空泵極限壓力:4.0×10-1Pa
3、抽真空時間:≤120S
4、破真空時間:20-40S
5、供氣方式:電磁閥式
6、流量計調節範圍:0-300Sccm(毫升/分鍾
7、產能:根據產品規格而定
8、處理時間:工藝不同,處理時間不同
9、操作方式:人工取放工件,一鍵啟動自動控製
真空室規格 600mm(W)×600mm(D)×600mm(H)進口鋁 AG8亚游
電極板規格 570mm(W)×490mm(D),10層 定製
托架規格 570mm(W)×490mm(D),5層 定製
等離子發生器功率 射頻13.56MHZ, 0-1000W可調) 國產
真空泵係統 機械真空泵組 國產
真空測定係統 皮拉尼式真空計 進口
PLC係統 西門子 AG8亚游自主研發
額定功率 5KW  
機台供電 AC-380V/三相五線式  

注:以上參數僅供參考,本公司可能對相關產品參數進行調整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。
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工作原理

在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體,然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質,然後由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去,從而達到表麵清潔、活化等目的。如圖所示:
真空等離子工作原理
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應用領域

1. 晶圓



去除光刻膠:傳統的濕化學方法去除晶圓表麵的光刻膠存在反應不能精準控製,清洗不徹底,容易引入雜質等缺點。作為幹式方法的晶圓級封裝等離子體處理可控性強,一致性好,不僅可以徹底去除光刻膠和其他有機物,而且還可以活化和粗化晶圓表麵,提高晶圓表麵浸潤性。

2. 引線框架



銅引線框架:處於對性能和成本的考慮,微電子封裝領域目前主要采用導熱性、導電性、加工性能良好的銅合金材料作為引線框架。銅的氧化物與其它一些有機汙染物會造成密封模塑與銅引線框架的分層,造成封裝後密封性能變差與慢性滲氣現象,同時也會影響芯片的粘接和引線鍵合質量,經過晶圓級封裝等離子體處理銅引線框架,可去除有機物和氧化層,同時活化和粗化表麵,確保打線和封裝的可靠性。

3. 引線鍵合



引線鍵合:引線鍵合的質量對微電子器件的可靠性有決定性影響,鍵合區必須無汙染物並具有良好的鍵合特性。汙染物的存在,如氧化物、有機汙染物等都會嚴重削弱引線鍵合的拉力值。等離子體清洗能有效去除鍵合區的表麵汙染物並使其粗糙度增加,能明顯提高引線的鍵合拉力,極大的提高封裝器件的可靠性。

4. 倒裝芯片封裝



倒裝芯片封裝:隨著倒裝芯片封裝技術的出現,等離子清洗已成為其提高產量的必要條件。對芯片以及封裝載板進行等離子體處理,不但能得到超淨化的焊接表麵,同時還能大大提高焊接表麵的活性,這樣可以有效防止虛焊和減少空洞,提高填充料的邊緣高度和包容性,改善封裝的機械強度,降低因不同材料的熱膨脹係數而在界麵間形成內應的剪切力,提高產品可靠性和壽命。

5. 陶瓷封裝



陶瓷封裝:陶瓷封裝中通常使用金屬漿料印製線路板作鍵合區、蓋板密封區。在這些材料的表麵電鍍Ni、Au前采用晶圓級封裝等離子體清洗,可去除有機物鑽汙,明顯提高鍍層質量。

快速反應,專業配合,精心打造服務生態鏈
1年質保,終身維護,提供配套服務
承諾到達現場的時限:昆山4小時,蘇州8小時,江浙滬24小時,其他區域48小時
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榮譽資質

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